Ðại sư Huệ Tam Tư Nguyên thời Dân Quốc, người huyện Uyển Bình, tỉnh Hà Bắc. Năm mười bảy tuổi xuất gia. Ít lâu sau, thọ Cụ Túc, vào học trường Phật Giáo Học Hiệu tại tỉnh An Huy, nghiên cứu tinh tường nội điển.
Ngài nhận trách nhiệm trụ trì chùa Sùng Thọ và Quảng Thiện ở Bắc Kinh. Ngài kiến lập, hưng khởi đạo tràng Hoa Nghiêm. Trước giờ Ngọ mỗi ngày, Ngài tụng kinh Hoa Nghiêm. Cuối năm, Ngài kết Hoa Nghiêm Phật Thất, lãnh đạo đại chúng huân tu pháp Chân Không Pháp Giới Quán; từng đốn nhập Pháp Giới Ðịnh. Sau khi khai tịnh, mới ngộ được hư không pháp giới Lý Sự vô ngại, pháp hỷ tràn đầy, khen là chưa từng có.
Từ đấy, Ngài càng thêm tinh tấn, tu Quán chẳng lùi. Tháng Mười Một năm Dân Quốc 37 (1948), Ngài đến Ðài Loan lúc bốn mươi tám tuổi, lãnh trọng trách giảng dạy tại Phật Học Viện chùa Viên Quang ở Trung Lịch. Năm sau, Ngài đến Sở Giảng Dạy Học Tập Phật Học ở Tân Trúc giảng dạy Phật giáo, đồng thời giảng kinh ở chùa Nhất Ðồng suốt bảy năm.
Sư thường tới các chùa ở Ðài Bắc, Nội Hồ, Nam Ðầu… để giảng kinh, độ chúng không đếm nổi. Năm năm mươi lăm tuổi, Ngài sáng lập chùa Phước Huệ trên núi Linh Sơn ở xã Thọ Lâm, Ðài Bắc. Mỗi năm, vào tháng Bảy, Ngài lập pháp hội Ðịa Tạng kéo dài bảy ngày, truyền U Minh Giới một lần. Mỗi năm, tại Ðài Loan, khi truyền tam đàn đại giới và giới tại gia, Sư thường được suy cử vào một trong tam sư. Cả cõi âm lẫn dương gian đều được lợi, pháp hóa lợi ích vô cùng!
Năm sáu mươi sáu tuổi, Sư lại càng thêm thường tinh tấn, hằng khóa niệm Phật mỗi ngày là ba vạn câu. Năm tám mươi tuổi liền bắt đầu niệm Phật, tọa Thiền cộng tu, và khởi xướng nghĩa chẩn cứu dân nghèo và thí thuốc trong khuôn viên nhà chùa; sáng lập thư viện để mọi người đến đọc sách; đề xướng, lo liệu việc giảng giải, học hỏi Phật học. Hạnh lẫn giải càng thêm sâu, phước huệ song tu.
Sư từng đáp ứng lời thỉnh sang Mỹ hoằng pháp, qua Ðại Hàn truyền giới, người thọ giới lên đến hơn năm ngàn người. Giữa trưa ngày mồng Tám tháng Bảy năm Dân Quốc 75 (1986), sau khi dùng cơm, Sư chợt nói:
- Ta sắp đi đây!
Liền triệu tập tất cả đệ tử trong chùa, dặn dò:
- Sau khi ta mất, các con nên hợp tác với nhau.
Sau bữa cơm chiều, Ngài không bệnh gì, đang đứng mà hóa, thọ tám mươi sáu tuổi. (theo tạp chí Từ Vân số 126)
Nhận định:
Ðại Sư mỗi ngày tụng kinh Hoa Nghiêm, tu Chân Không Quán, từng nhập Pháp Giới Ðịnh, từ đấy tu Quán chẳng lui sụt. Ðến năm sáu mươi tuổi, bắt đầu mỗi ngày hằng khóa niệm Phật ba vạn tiếng; đấy là bỏ Quán niệm Phật.
Từ năm tám mươi tuổi trở đi, chợt lại tọa Thiền, niệm Phật cộng tu. Ðấy là tuổi già tịnh tọa niệm Phật, chứ chẳng phải là Thiền Tịnh Song Tu. Không bệnh, đang đứng mà hóa, nhất định phải là Thượng Phẩm Thượng Sanh.