Sư tự là Đẳng Chí, họ Thẩm, ở Ngô Hưng. Cao tổ của Sư làm quan Tế tửu nước Trần, tằng tổ[75] làm quan Tư mã ở châu Ngụy nước Tùy, tổ khảo[76] không làm quan.
Thuở nhỏ, Sư đến chùa chơi, bước lên đất thanh tịnh, bỗng nhiên xúc động biết được đời quá khứ của mình, chỗ Sư ở của đời quá khứ hiện ra rõ ràng trước mắt. Nhân đó, Sư phát tâm xuất gia.
Niên hiệu Thiên Bảo thứ tám (749) đời Đường, Sư trụ ở chùa Vĩnh Định thuộc quê nhà.
Niên hiệu Thiên Bảo thứ chín (750), Sư mở đàn Ngũ Phần ở chùa Khai Nguyên.
Niên hiệu Đại Lịch thứ ba (768), tăng và tục ở hai châu Chuyển Lệ, Vũ Khâu quy tụ ngày càng đông, nhưng tính của Sư không chạy theo thời thế, chẳng thích gần gũi người tiếng tăm, mỗi khi ở trong thất thì yên lặng như không người, chỉ khổ công tu học không bỏ phí thời gian. Sư tinh thông nghĩa lí các kinh luật như Pháp hoa… không chút nghi ngờ, lại còn xiển dương Phật pháp, dẫn dắt người sau. Có lần, Sư nói với ngài Kiểu Nhiên[77] ở Ngô Hưng:
- Tất cả những gì ta thấy biết đều đem chỉ dạy cho người, dù một chút việc thiện ta cũng đều hồi hướng về Tịnh độ!
Niên hiệu Đại Lịch thứ mười (775), nhân có bệnh, Sư vào đạo tràng Lưu Thủy Niệm Phật[78] thấy được cảnh Tịnh độ hiện tiền trong một niệm. Ra khỏi đạo tràng, Sư liền làm bài kệ:
Con nước trôi chừ, Lăn tăn sóng gợn, Đóa hoa sen chừ, Tỏa rực ánh sáng, Cưỡi ánh sáng chừ, Đi tới cùng ai!
Lúc rời đạo tràng, làm kệ xong, Sư bảo đệ tử:
- Điều thiện chớ nên bỏ, thời giờ chớ để luống qua. Các con có lòng tin kiên cố đối với An Dưỡng là tốt rồi!
Đệ tử thưa:
- Chúng con không dám quên lời thầy dạy!
Sư nói tiếp:
- Chẳng quên Phật đạo, đức độ của các con từ đây mà phát khởi!
Có người nói:
- Hòa-thượng lìa đời vì sao lại bệnh?
Sư nói:
- Lúc sắp ra đi, bậc Thánh cũng không tránh khỏi bệnh, huống gì ta!
Nói xong, Sư quay lại nhìn tượng Phật, rồi an nhiên viên tịch.
Sư viên tịch tại Đông tự ở Hổ Khâu vào ngày hôm ấy, thọ sáu mươi tám tuổi đời, ba mươi sáu tuổi đạo.