Sư tự là Pháp Vân, họ Ngô, người ở Nghĩa Hưng, Thường Châu. Tổ tiên năm đời dời đến Đông Âu tị nạn, nên gia đình Sư ở Chương An, Lâm Hải.
Thuở còn nằm nôi, mẹ niệm danh hiệu Phật, Pháp, Tăng, Sư cũng nhép miệng niệm theo, từng tiếng rõ ràng dễ nghe. Pháp sư Tuệ Chửng ở chùa Nhiếp Tịnh biết được, nói:
- Đó chính là túc duyên tu tập đời trước nên mới được như vậy!
Năm bảy tuổi, Sư làm đệ tử ngài Tuệ Chửng, ngày ngày được ngài chỉ dạy, chẳng bao lâu thì trưởng thành. Khi pháp sư qua đời, Sư đến học đạo ở Thiên Thai, huân tập giới, định, bặt hết vọng niệm.
Khoảng niên hiệu Chí Đức (583 – 586) nhà Trần, Sư đến ở nơi ngài Trí Giả tại chùa Quang Trạch. Sau đó, họ Trần suy sụp, thế lực thuộc về nhà Tùy. Niên hiệu Khai Hoàng thứ mười một (591) nhà Tùy, Sư theo ngài Trí Giả đến ở chùa Thiền Chúng. Ba năm sau, Sư theo ngài Trí Giả quay về. Sư theo hầu ngài mười bảy năm, đến khi ngài mang bệnh, Sư nhận di chúc và tín vật đặc biệt của Tấn vương.
Đầu niên hiệu Nhân Thọ (601), Tấn vương lên ngôi, Sư được vua quý trọng, Phật pháp ngày càng rạng rỡ, đài điện, chùa chiền được sửa sang. Sư lại nhận chiếu vào nội cung giảng kinh Tịnh Danh, Pháp hoa… Ba năm hoằng hóa, sáu cung đều kính ngưỡng. Hai năm sau nữa, Sư trở về Thiên Thai.
Đến ngày 7 tháng 8 niên hiệu Trinh Quán thứ 6 (632) nhà Đường, Sư viên tịch tại chùa Quốc Thanh, thọ 72 tuổi.
Trước lúc mất, Sư có bệnh, trong phòng có hương thơm, Sư vui mừng nói:
- Đây là hương của hoa senbáu, ta sẽ theo đó đi.
Rồi Sư ở trước tượng Phật, niệm A di đà Phật mười lần, niệm ba lần danh hiệu hai vị bồ tát Quán Âm, Thế Chí và Thanh tịnh hải chúng bồ tát. Sau đó, Sư ngồi xuống, chắp tay trước ngực an nhiên viên tịch.